臺式電子顯微鏡普及以來,人們一直渴望實現自動化。研究人員通過在微觀層面研究樣品需要人工重復的步驟,可以尋找替代方案來努力提高這些過程的效率。隨著技術的不斷成熟,人們對其要求也越來越復雜,比如增加更復雜的圖像處理算法,提高分析大量數據的能力等。經過調查發現,人們對于自動化的期待主要有3個:消除人為誤差,節省時間和成本,在海量數據中快速找到目標。
臺式電子顯微鏡采用二次電子和背散射電子兩種探測器。同時配備4個可選光闌(30、50、100、200um),通過改變電子束大小可提供高分辨率圖像。除能檢測二次電子圖像以外,還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同,在進行觀察前,要對樣品作相應的處理。
它與電視一樣是由控制電子束偏轉的電子系統來完成的,只是在結構和部件上稍有差異而已,在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描,把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描,兩者的掃描速度*不同,行掃描的速度比幀掃描的速度快,對于1000條線的掃描圖象來說,速度比為1000。
臺式電子顯微鏡是掃描電鏡能譜行業的一個里程碑,亮度10倍于鎢燈絲的燈絲,不僅成為分辨率高的儀器,同時也使X射線能譜儀提供更加準確、快速的元素分析。
其背散射圖像從視覺上用不同的灰度呈現不同的元素,進一步利用X射線探測器,就能輕松確認不同灰度區域元素的名稱和含量,提供5-95號元素的點掃描,線掃描和面掃描三種分析模式。用戶通過一個界面就可以操控兩項功能,圖形化的設計,使操作變得的簡單,點擊感興趣的區域,在數秒內既可以得到微觀形貌信息,同時得到該區域的表面元素分布信息。