掃碼電子顯微鏡是利用二次電子和背散射電子信號，通過真空系統、電子束系統和成像系統獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等的一種分析儀器。隨著科學技術水平的提高，其放大倍數可達幾十萬倍，分辨率可達納米級別，是形貌和成分分析領域重要的一種工具。
那么掃碼電子顯微鏡的樣品如何制備呢？
1、塊樣
對于金屬、巖礦或無機物，切割成要求的尺寸，粘在樣品臺上。如果樣品數量多，注意樣品尺寸應一致。
微區成分分析樣品表面應該平臺或經研磨拋光，可以保證檢測時幾何條件不變。對于樣品的斷口面，要選擇起伏不大的部位，應是分析點附近有小的平坦區。樣品表面和底面應該平行。
非導電或導電性較差的材料，要先進行鍍膜處理，在材料表面形成一層導電膜。以避免電荷積累，影響圖像質量，并可防止試樣的熱損傷。
2、粉樣
?。?）微米級粉料：將粉樣撒在樣品臺的雙面膠上，用手指輕彈樣品臺四周，粉料會均勻地向四周移動，鋪平一層，側置樣品臺，把多余粉料抖掉；用紙邊輕刮、輕壓粉料面，使粉料與膠面貼實；用耳球從不同方向吹拂粉料。經此過程，粉料已牢固、均勻地粘在雙面膠上。
?。?）對于亞微米級或納米粉料進行成分分析：利用壓片機壓成結實的薄片。把薄片用雙面膠粘在樣品臺上。
因為掃碼電子顯微鏡不是同時記錄的，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構成的。使得它除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進行結晶學分析，選區尺寸可以從10μm到3μm。
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