簡述進口電子顯微鏡的調焦方法

　　進口電子顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像、抬起等多種工作模式，是一款集成原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、磁力顯微鏡和靜電力顯微鏡于一體的設備，可以測量樣品的表面特性，如形貌、粘彈性、摩擦力、吸附力和磁/電場分布等等。

 

　　進口電子顯微鏡可實時獲得樣品表面的實空間三維圖像。既適用于具有周期性結構的表面，又適用于非周期性表面結構的檢測，可在真空、大氣、常溫、常壓等條件下工作，甚至可將樣品浸在液體中，不需要特殊的樣品制備技術，除此之外，其理論橫向分辨率可達0.1nm，而縱向分辨率更高達0.01nm，從而可獲得物質表面的原子晶格圖像，這使其成為了除了場離子顯微鏡和高分辨率透射電子顯微鏡外，第三個能在在原子尺度上觀察物質結構的顯微鏡。

 

　　無論是透明的材料或不透明材料、甚至熒光材料都可以分析出較為理想的效果。在較低放大率下，移動采樣階段可以找到待分析的樣本、放大的和聚焦的樣本。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點，使用對比度、亮度、放大率和焦距來制作圖像，然后在樣本的基礎上尋找或選擇感興趣的分析站點。

 

　　進口電子顯微鏡的調焦結構分為微動調焦和粗動調焦兩部分：

 

　　1、微動調焦結構

 

　　微動機構有齒輪式，杠桿式，行星輪式等結構形式，中以齒輪式粗、微動同軸結構使用得普通。

 

　　2、粗動調焦結構

 

　　粗動調焦機構一般采用齒輪與齒條的嚙合運動形式，選用組織穩定而耐磨性較強的合金材料，并經過精密加工而成。當轉動粗動手掄時，全相試樣表面對光學系統發生相對運動，被調系統作準確的直線運動。移動時效尾與燕尾榴配合平穩，沒合松動或過緊的現象。而齒輪與齒條的齒合精度由調整齒條與齒輪的中心距保證。